多通道薄膜表面放電薄膜開關(guān)如圖3所示。薄膜開關(guān)包括兩個由薄膜-氣體介質(zhì)界面絕緣的平行板狀主電極和一列放置于主電極之間的觸發(fā)電極,觸發(fā)系統(tǒng)對多個觸發(fā)電極同步施加電壓脈沖而引發(fā)主電極導(dǎo)通,觸發(fā)系統(tǒng)與前述場畸變薄膜開關(guān)中的相同,薄膜開關(guān)置于有機玻璃室中,其中分別充以不同氣壓的空氣、SF6或抽真空。實驗發(fā)現(xiàn),在所有情況下,觸發(fā)開關(guān)中12個平行放電間隙并不困難,但只有在使用真空和壓縮空氣時,輸出脈沖形狀才接近方波。能夠獲得的最快前沿大大超出了1ns的設(shè)計指標,約8ns,脈沖的幅值也僅達到3.5kV,波形更不規(guī)則(圖4)。